半导体用的全氟醚橡胶

全氟醚橡胶(FFKM)是一种完全不含C-H键的氟橡胶,在介质腐蚀、高温、高压、辐射环境等苛刻条件下,只有全氟醚橡胶才能适应,因此,在安全和维护要求严格的半导体生产装置中大显身手。

由于在半导体制造中,停产更换密封件代价极高,半导体行业的密封件和垫圈需要非同寻常的材料。而全氟醚橡胶的高纯度和对等离子体、热和刺激性化学品的极高耐受性为半导体制造如等离子处理、热处理及湿法工艺等生产装置的密封提供了出色解决方案,可延长密封寿命,减少污染,进而提高晶圆产量,降低生产成本。而全氟醚橡胶唯一的缺点就是价格太高,市场价约3~5万元/kg。

全氟醚橡胶的性能特点及其在半导体领域的应用,全氟醚橡胶绝大多数被制成密封件,如O型圈、垫圈等产品,应用于泵、机械密封、阀门的阀座、连接密封件等高温、强腐蚀的使用环境下。


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